电子气:

      大连凯发气体有限公司近几年来继续加大电子气体投入,于2018年景为“集成电路质料财产技能创新战略同盟”成员。依附丰厚的配气履历,先辈的剖析才能(CNAS认证明验室)和严谨的办理系统,不停开辟满意客户需求的气体产品,构成了以混淆气为主,特别化学气体及高纯气为辅的产品线,相干产品 曾经使用于LED、IC、光伏等行业。

气体组分

含量

阀门

充装压力

PH3/H2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

PH3/N2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

PH3/He

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

SiH4/H2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

SiH4/N2

ppm级 %含量

DISS632/CGA350

10MPa

B2H6/H2

ppm级

DISS632/CGA350

10MPa

30%O2/He

 

DISS714

12MPa  

20%O2/Ar

 

DISS714

10MPa

3%H2/Ar

 

DISS724

10MPa

15%O2/Ar

 

DISS714

10MPa

0.5%O2/He

 

DISS714

12MPa

1.2%He/N2

 

DISS714

12MPa

F2/Kr/Ne

 %含量

CGA679/DISS728

13.8MPa

F2/Ar/Ne

 %含量

CGA679/DISS728

13.8MPa

Kr/Ne

 %含量

CGA580/DISS718

13.8MPa

Ar/Xe/Ne

 %含量

CGA580/DISS718

13.8MPa

4%H2/N2

 

DISS718

12MPa

2.7%C2H4/He

 

JISS22-14OR

12MPa

99.9% NO

 

JISS22-14-OR

3.5MPa