电子气:
大连凯发气体有限公司近几年来继续加大电子气体投入,于2018年景为“集成电路质料财产技能创新战略同盟”成员。依附丰厚的配气履历,先辈的剖析才能(CNAS认证明验室)和严谨的办理系统,不停开辟满意客户需求的气体产品,构成了以混淆气为主,特别化学气体及高纯气为辅的产品线,相干产品 曾经使用于LED、IC、光伏等行业。
气体组分 | 含量 | 阀门 | 充装压力 |
PH3/H2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
PH3/N2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
PH3/He | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
SiH4/H2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
SiH4/N2 | ppm级 %含量 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
B2H6/H2 | ppm级 | DISS632/CGA350 | 10MPa |
30%O2/He | | DISS714 | 12MPa |
20%O2/Ar | | DISS714 | 10MPa |
3%H2/Ar | | DISS724 | 10MPa |
15%O2/Ar | | DISS714 | 10MPa |
0.5%O2/He | | DISS714 | 12MPa |
1.2%He/N2 | | DISS714 | 12MPa |
F2/Kr/Ne | %含量 | CGA679/DISS728 | 13.8MPa |
F2/Ar/Ne | %含量 | CGA679/DISS728 | 13.8MPa |
Kr/Ne | %含量 | CGA580/DISS718 | 13.8MPa |
Ar/Xe/Ne | %含量 | CGA580/DISS718 | 13.8MPa |
4%H2/N2 | | DISS718 | 12MPa |
2.7%C2H4/He | | JISS22-14OR | 12MPa |
99.9% NO | | JISS22-14-OR | 3.5MPa |